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介绍了一种采用八面体转镜与平面摆镜联合实现激光二维光栅轨迹扫描的扫描器，讨论了光学及机构设计中影响扫描精度的因素，及电机频率／相位稳速控制问题，保证了该扫描器的精度和稳定性。
激光二维光机扫描系统设计
【摘 要】
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介绍了一种采用八面体转镜与平面摆镜联合实现激光二维光栅轨迹扫描的扫描器，讨论了光学及机构设计中影响扫描精度的因素，及电机频率／相位稳速控制问题，保证了该扫描器的精度和稳
【机 构】
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上海大学机械电子工程学院
【出 处】
：
光学技术
【发表日期】
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1998年05期
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