二维金属光栅的矢量模式研究

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liwuyi

【摘要】

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用矢量模式场来描述二维金属光栅各层中的电磁场.由边界条件,推导出模式场方程组;借助反射透射系数阵递推算法,得出了方程组的解.这种矢量模式方法物理概念清晰且稳定收敛,可

【作者】

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【机构】

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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

【出处】

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光电工程

【发表日期】

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2004年6期

【关键词】

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用矢量模式场来描述二维金属光栅各层中的电磁场.由边界条件,推导出模式场方程组;借助反射透射系数阵递推算法,得出了方程组的解.这种矢量模式方法物理概念清晰且稳定收敛,可以处理任意偏振态平面波入射到二维亚波长金属光栅中的衍射问题.

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