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用还原氮化法制备氮化铝粉末
用还原氮化法制备氮化铝粉末
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liutingkaoyanhao
【摘 要】
:
研究了用还原氮化法制备氮化铝(AlN)粉末的过程。用XRD、DTA等手段确定了氮化反应的开始温度,并从热力学角度进行了讨论。通过实验研究了氮化速率。对制备出的AlN粉末性质进
【作 者】
:
翁履谦
黄栋生
【机 构】
:
中南工业大学粉末冶金研究所,中南工业大学粉末冶金研究所
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
1991年3期
【关键词】
:
还原氮化法
氮化铝
粉末
制备
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研究了用还原氮化法制备氮化铝(AlN)粉末的过程。用XRD、DTA等手段确定了氮化反应的开始温度,并从热力学角度进行了讨论。通过实验研究了氮化速率。对制备出的AlN粉末性质进行了观察和检测,其结果表明所获AlN粉烧结性能良好、纯度高、颗粒微细。
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