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期刊论文
氧化硅干法各向异性刻蚀研究
氧化硅干法各向异性刻蚀研究
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hong_77521
【摘 要】
:
氧化硅的干法各向异性刻蚀是芯片制造中的一项关键工艺技术,集成电路的制造发展到ULSI(甚大规模集成电路)阶段,图形密度越来越高,加工线条越来越细,加工精度的要求也越来越严格。
【作 者】
:
同小锦
刘青
【机 构】
:
西安卫光科技有限公司
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2014年24期
【关键词】
:
芯片制造
氧化硅刻蚀
各向异性
选择比
刻蚀损伤
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氧化硅的干法各向异性刻蚀是芯片制造中的一项关键工艺技术,集成电路的制造发展到ULSI(甚大规模集成电路)阶段,图形密度越来越高,加工线条越来越细,加工精度的要求也越来越严格。
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