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综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.
纳米多层膜的研究进展
【摘 要】
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综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.
【机 构】
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广州有色金属研究院材料表面工程中心
【出 处】
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材料研究与应用
【发表日期】
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2007年1期
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