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本文提出一个有效捕获中心浓度的概念随着填充电荷Ｑ的增加按指数规律变化，多晶硅薄膜电阻的Ｉ—Ⅴ特性与有效捕获中心浓度有关。当时，可导致多晶硅薄膜电阻出现负阻特性。
多晶硅电阻I—V特性分析
【摘 要】
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本文提出一个有效捕获中心浓度的概念随着填充电荷Ｑ的增加按指数规律变化，多晶硅薄膜电阻的Ｉ—Ⅴ特性与有效捕获中心浓度有关。当时，可导致多晶硅薄膜电阻出现负阻特性。
【机 构】
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加拿大阿尔伯塔大学
【出 处】
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黑龙江大学自然科学学报
【发表日期】
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1994年3期
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