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【摘要】文章基于用户对大功率整流器件的抗高温特性及低正向压降的技术要求,创新性地采用新型扩散纸源并提出三次光刻工艺。该专项着重研究了扩散时间对结深及正向压降的影响关系,最终流片出符合设计要求的低正向压降整流器管芯。笔者最后将本项目研制的耐高温、低压降、大功率整流器管芯组装成成品,同常规整流器组装成品进行了比较,前者的正向压降特性显著地优于后者。
【关键词】半导体器件;整流器;低正向压降;耐高温;低功耗
【关键词】半导体器件;整流器;低正向压降;耐高温;低功耗