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定量分析了了光学面形误差各参数 (幅度、类型、空间尺度和空间分布等 )对光束质量的影响。通过数值计算得到 :对于局部缺陷和环形缺陷 ,在规定误差均方根值时 ,应对缺陷空间尺度作出相应规定 ,以避开光束质量因子 β的极大值。中心缺陷比边缘缺陷对光束质量的破坏更大 ;相位误差的低频部分形成了远场能量分布的中心核 ,而边翼由高频部分所形成 ,对高频误差需要规定更严格的容差