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本文提出了一种新的高精度大型平面扫描仪，利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成，当入射光发生角漂或扫描头发生摆动等，输出的两束光发生对称上下漂移，其中心线扫描线性的基准平面保持不变，测量不确定度小于２．５×１０＾－６。
大平面平面度测量系统
【摘 要】
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本文提出了一种新的高精度大型平面扫描仪，利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成，当入射光发生角漂或扫描头发生摆动等，输出的两束光发生对称上下漂移，其中心线扫描线性的基
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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1998年12期
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