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在扫描电子显微镜中用超薄窗(UTW)和铍窗的X光能谱仪分别测定了Mn、Co、Ni、Cu和Ni、Cu、Zn、Ge等四种纯元素厚试样的强度比I(L)/I(K)。利用超薄窗口和铍窗口的实验比值I(L)/I(K)估算出铍窗口的名义厚度值,并和蔡伟等人用不同能谱仪在铍窗口下测得的I(L)/I(K)比值作了比较,对不同能谱仪(kevex,EDAX和ORTEC)的铍窗名义厚度作了定值分析。