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研究了端部中空离子源的磁路设计.在简要叙述端部中空离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上,考虑了在设计离子源磁路时的关键问题和解决方法,并给出了实验结果和分析结论.
端部中空离子源的磁场测量
【摘 要】
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研究了端部中空离子源的磁路设计.在简要叙述端部中空离子源的基本原理及其对磁场要求的基础上,考虑了在设计离子源磁路时的关键问题和解决方法,并给出了实验结果和分析结论.
【机 构】
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西安工业学院陕西省薄膜技术重点实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2006年z2期
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