【摘 要】
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在研制压力传感器时,采用静电-热键合相结合的方法,对Si/Au-Glass、Si/Au-Glass/Si结构的键合技术进行了研究.硅与淀积有金加热器引线玻璃的封接:先以Si/Glass静电键合方法进
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在研制压力传感器时,采用静电-热键合相结合的方法,对Si/Au-Glass、Si/Au-Glass/Si结构的键合技术进行了研究.硅与淀积有金加热器引线玻璃的封接:先以Si/Glass静电键合方法进行,再400℃退火2 h,使Si/Au热键合.用一次充氮真空检漏法对键合形成的绝压腔进行了测试,结果显示:键合界面接合牢固、气密.此技术被用于Si/Au-Glass/Si结构自检测压力传感器的键合封接,经对传感器测试,性能良好,具有自检测功能.
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