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为提高薄膜太阳能电池的转换效率,采用1 064nm与532 nm纳秒激光器及515 nm皮秒激光器对a-Si和CIGS薄膜太阳能电池的刻线工艺进行了实验研究,获得了不同激光参数下的刻线效果.并结合当前市场情况与工艺水平,提出了今后薄膜太阳能电池激光刻线的发展方向.
薄膜太阳能电池的激光刻线技术及工艺研究
【摘 要】
：
为提高薄膜太阳能电池的转换效率,采用1 064nm与532 nm纳秒激光器及515 nm皮秒激光器对a-Si和CIGS薄膜太阳能电池的刻线工艺进行了实验研究,获得了不同激光参数下的刻线效果.
【机 构】
：
通快中国有限公司,上海200020;上海市激光技术研究所,上海200233;上海市激光束精细加工重点实验室,上海200233
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
：
2004年期
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