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介绍了日本微电子机械系统的发展现状.分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势.
日本微电子机械系统研究现状
【摘 要】
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介绍了日本微电子机械系统的发展现状.分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域、面临的问题以及今后发展的趋势.
【机 构】
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河北科技大学信息学院,信息产业部电子第49研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2001年11期
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