In-plane load measuring technique for the strength test of MEMS micro-cantilever

来源 :中国科学通报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：avim03

【摘要】

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测量技术的在里面飞机负担被开发执行力量测试微伸臂。把定理基于电磁，微 UTM (Universa！TestingMachine ) 内部地与负担范围 +-1 N 和排水量范围 +-300 亩 m 被做。一架在里面

【作者】

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HUAN Yong ZHANG Taihua YANG Ye

【机构】

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StateKeyLaboratoryofNonlinearMechanics

【出处】

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中国科学通报：英文版

【发表日期】

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2006年23期

【关键词】

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测试强度微旋臂机械学 test in-plane strength micro-cantilever

【基金项目】

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Acknowledgements The authors would like to thank Mr. Zhang Dacheng and Ruan Yong from Peking University for their assistance in sample preparation. This work was supported by the National Natural Scie

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测量技术的在里面飞机负担被开发执行力量测试微伸臂。把定理基于电磁，微 UTM (Universa！TestingMachine ) 内部地与负担范围 +-1 N 和排水量范围 +-300 亩 m 被做。一架在里面飞机装载在上的 Itapplies 免费结束微伸臂。负担为锚为伸臂的根充当弯曲矩，但是作为转矩。为有不同尺寸的样品，最终的负担从 1.3 ～ 69.8 mN 和计算转矩的结果表演与结合的长度的平方近似成正比。二个失败模式，在伸臂的根的破裂和在锚的骨折，被微检查观察到碎片，它显示有一个批评图案完成在

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