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用溶胶-凝胶法制备VO2薄膜.通过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺实验,在非晶玻璃上得到电阻变化2～～3个量级的VO2薄膜.对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电学性能的影响进行了初步研究.通过XRD和XPS对薄膜的特性和价态进行了分析.
VO2薄膜制备及电学性能
【摘 要】
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用溶胶-凝胶法制备VO2薄膜.通过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺实验,在非晶玻璃上得到电阻变化2～～3个量级的VO2薄膜.对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电学性能的
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2001年4期
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