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垂直布里奇曼法生长CdZnTe晶体时固液界面形状的控制
垂直布里奇曼法生长CdZnTe晶体时固液界面形状的控制
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youi
【摘 要】
:
采用有限元法对探测器材料CdZnTe的晶体生长过程进行了热分析,研究了不同因素对生长过程中固液界面形状的影响,模拟结果表明,当坩埚下降速度约为1mm/h时,可获得接近水平的固—液界
【作 者】
:
李万万
桑文斌
闵嘉华
郁芳
张斌
王昆黍
曹泽淳
【机 构】
:
上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
CDZNTE
垂直布里奇曼法
有限元法
CdZnTevertical bridgman methodfinite element method
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采用有限元法对探测器材料CdZnTe的晶体生长过程进行了热分析,研究了不同因素对生长过程中固液界面形状的影响,模拟结果表明,当坩埚下降速度约为1mm/h时,可获得接近水平的固—液界面,晶体生长实验结果与计算机模拟的结论基本一致。因此,通过适当选择和调节坩埚下降速度可获得高质量晶体。
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