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采用表面MEMS工艺制作了二维多通道的硅基微电极阵列，用于提取脑神经电信号．在整个工艺制作过程中需要三步光刻，制作的硅针长1．2mm，宽100μm，厚30μm，同时各个记录点的间距为200μm，可以形成良好的信号隔离．对微电极的阻抗特性进行了体外测试，结果表明，随着频率由0变为10MHz，单个记录点阻抗由14MΩ下降到1．9kΩ．将微电极黏附到印刷线路板，通过金丝压焊提取各个通道信号，大大提高了植入的可操作性以及信号提取的可靠性．