【摘 要】
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提出新型金属埋栅结构来改良透明导电氧化物薄膜(TCO)的光电性能,并分别采用AZO和ITO这2种TCO材料制备和对比3类薄膜(单层TCO薄膜、TCO/金属薄膜/TCO以及TCO/金属栅线/TCO三
【机 构】
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西南石油大学光伏产业技术研究院,成都 610500;中山大学太阳能系统研究所,广州 510006
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提出新型金属埋栅结构来改良透明导电氧化物薄膜(TCO)的光电性能,并分别采用AZO和ITO这2种TCO材料制备和对比3类薄膜(单层TCO薄膜、TCO/金属薄膜/TCO以及TCO/金属栅线/TCO三明治结构的薄膜)的光学和电学性能.本文制备的新型叠层AZO/Mg栅线/AZO和ITO/Ag栅线/ITO结构在300～1200 nm范围内光学透过率保持约在85％,方阻分别降低至1.94和91Ω/□.将ITO/Ag栅线/ITO作为TCO用在n-CdS/p-Si异质结电池上取得了9.31％的效率,相比单层ITO的电池转换效率提高了6.03％.该工作为低方阻、高光学透过率TCO的制备提供了一种行之有效的思路,在光电子器件上也具有一定的应用前景.
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