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制备了一种非晶氮化碳薄膜,并对其经行了扫描电镜、膜厚、压痕、划痕、硬度及X射线光电子能谱分析（XPS）测试。测试结果表明该薄膜结构非常致密,具有良好的硬度以及附着力,且表明光滑。可以用作内燃机气缸及活塞的表面处理,增强其润滑性和耐磨性能。
非晶氮化碳薄膜技术研究
【摘 要】
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制备了一种非晶氮化碳薄膜,并对其经行了扫描电镜、膜厚、压痕、划痕、硬度及X射线光电子能谱分析（XPS）测试。测试结果表明该薄膜结构非常致密,具有良好的硬度以及附着力,且表
【机 构】
：
91872部队
【出 处】
：
内燃机与配件
【发表日期】
：
2017年6期
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