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本文介绍了采用光学成象法，以拼接ＣＣＤ为光电接收器的外径测量系统的原理及其结构。系统测量直径范围Φ２－Φ１２ｍｍ，测量不稳定度小于１μｍ，测量误差±２μｍ以内。
采用CCD拼接技术的外径测量研究
【摘 要】
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本文介绍了采用光学成象法，以拼接ＣＣＤ为光电接收器的外径测量系统的原理及其结构。系统测量直径范围Φ２－Φ１２ｍｍ，测量不稳定度小于１μｍ，测量误差±２μｍ以内。
【机 构】
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天津大学精密仪器工程系
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1997年5期
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