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射频PECVD法制备Si-C-H薄膜的研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zjian26
【摘 要】
：
本实验采用射频PECVD方法以高氢稀释的SiH4和CH4混合气体,在300℃低温下生长出了Si-C-H薄膜,并对沉积的薄膜在N2氛围中进行了退火研究.用红外吸收光谱、X射线衍射、原子力显
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
：
2004年期
【关键词】
：
Si-C-H薄膜 退火 红外 XRD AFM 
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本实验采用射频PECVD方法以高氢稀释的SiH4和CH4混合气体,在300℃低温下生长出了Si-C-H薄膜,并对沉积的薄膜在N2氛围中进行了退火研究.用红外吸收光谱、X射线衍射、原子力显微镜对薄膜进行热处理前后的结构和表面形貌分析.测试结果显示在所沉积的薄膜中含有Si-C键,分布于结晶性好的Si晶粒之间.
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