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利用热压印（HEL）技术实现了微米级图形的高精度转移.这种方法利用制作的模板,在温度达到PMMA聚合物玻璃转化温度之上后施加一定的压力将模板压印到PMMA聚合物表面,使得微米级模板结构转移到样品上.通过对影响图形转移精度的一些相关参数分析并采用MEMS专用设计软件IntelliSuite仿真PMMA聚合物填充过程,解决了影响图形转移精度的问题并优化了影响图形转移精度的参数.最后,利用Obduct纳米压印机,采用优化的参数,制备出了具有高分辨率的微米级图形.