【摘 要】
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德国SIGMA-C公司推出新型DFM工具SOLID+,其是作为设计领域使用的DFM工具对SOLID E进行改装而成的。据该公司首席运营官皮特·费思特(Peter G Feist)表示,在光刻模拟器产品
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德国SIGMA-C公司推出新型DFM工具SOLID+,其是作为设计领域使用的DFM工具对SOLID E进行改装而成的。据该公司首席运营官皮特·费思特(Peter G Feist)表示,在光刻模拟器产品中,SOLID E的市场份额排第一。不过,由于很多IDM(集成器件制造商)都在使用自主开发的模拟器,因此费思特表示,包括这一部分在内,具体份额“不好确定”。SOLID E目前运用于IDM、半导体产品代工、掩膜供应商和半导体制造设备厂商。
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