【摘 要】
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本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计 .同时在充分考虑金属镀膜影响的情况下 ,给出了谐振频率
【机 构】
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本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计 .同时在充分考虑金属镀膜影响的情况下 ,给出了谐振频率变化的计算模型 ,该模型通过和测试数据的对比 ,验证了其正确性 .
In this paper, the thermal excitation deflection and resonance frequency of the double-layer micro-mechanical silicon bridge are analyzed, and the corresponding mathematical model is established and the thermal deflection sensitivity is optimized.At the same time, considering the influence of metal coating, The calculation model of the change of resonant frequency is presented. The correctness of the model is verified by comparison with the test data.
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