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光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。
微型光谱仪的发展现状
【摘 要】
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光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2001年04期
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