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SiGe材料具有很多独特的性质,高性能的应变SiGe外延层能够将能带工程的概念引入到传统的Si基材料中去.外延SiGe合金使得在Si基材料上制作性能优异的双极晶体管成为可能.本文回顾了SiGe材料和SiGe异质结双极晶体管的最新研究进展,包括它们的结构、性能、制作工艺、优点以及未来发展方向等.
SiGe材料及其在双极型器件中的应用
【摘 要】
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SiGe材料具有很多独特的性质,高性能的应变SiGe外延层能够将能带工程的概念引入到传统的Si基材料中去.外延SiGe合金使得在Si基材料上制作性能优异的双极晶体管成为可能.本文
【机 构】
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中国科学院微电子中心
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2005年1期
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