【摘 要】
：
研究了研削工艺中磨轮目数对被减薄碳化硅(SiC)表面和欧姆接触的影响,并基于减薄工艺和激光退火工艺成功制备出170 μm薄片SiC肖特基二极管.先后经过2 000目和7 000目磨轮减
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所,北京 100029
论文部分内容阅读
研究了研削工艺中磨轮目数对被减薄碳化硅(SiC)表面和欧姆接触的影响,并基于减薄工艺和激光退火工艺成功制备出170 μm薄片SiC肖特基二极管.先后经过2 000目和7 000目磨轮减薄,衬底厚度从346 μm降至170 μm,晶圆减薄后表面粗糙度为5.4 nm.采用激光退火技术制备被减薄SiC样品背面欧姆接触,比接触电阻率达2.28×10-5 Q·cm2.在正向压降为1.5V时,未减薄SiC肖特基二极管正向导通电流密度为488 A/cm2,170μm薄片SiC肖特基二极管正向导通电流密度为638 A/cm2,电流密度提升了30.7％,意味着通态损耗降低了30.7％,减薄后通态电阻降低了23.58％.同时,两种SiC肖特基二极管的反向特性、肖特基结电容、雪崩电流等电学特性几乎一致,说明减薄和激光退火工艺未对其他电学特性带来负面影响.
其他文献
目的对1例人感染腺病毒55型病原体进行分离鉴定及进化分析。方法选取2015年5月安庆市某流感监测哨点医院采集的一例被诊断为急性上呼吸道感染患者的咽拭子标本作为研究样本，提取标本总核酸，采用人腺病毒通用引物进行real-time荧光定量PCR检测。将检出的阳性标本感染Hep-2细胞进行病毒分离。对成功分离的腺病毒毒株进行六邻体基因的扩增、纯化并测序。测序结果提交GeneBank上Blast，同源分析
超声串扰是多个超声换能器同时工作时经常出现的一种现象,会严重影响测距精度和降低超声系统的工作效率。为了消除超声串扰现象,国内外不少学者对此进行了研究。本文将消除超声串扰的方法分为两大类。一类是基于启发式的软处理法,主要包括“错误消除快速超声激励(EERUF)”法和“基于声纳的移动机器人障碍快速感知(ROSUM)”法。另一类是基于硬件的编码法,主要有伪随机编码、混沌编码法等。通过对这些方法的综合分析
随着建筑行业的不断发展,BIM在建筑行业中的应用也会越来越广泛.建筑工程管理是个十分复杂并且综合性较强的工程,在建筑工程管理的过程中应用BIM技术,可以在较大程度上提高建
在详细调研某热电联产电厂母管制锅炉系统工艺以及控制水平的基础上,本文研究了该厂4#、5#、6#锅炉各控制回路被控对象的特性,建立了各自的数学模型,采用广义预测控制算法,实现了三台锅炉的关键回路(包括新近投运的选择性催化还原法(SCR)脱硝回路)的先进控制,提高了各关键回路的控制品质,减少了NOx的排放,并大大节省了氨水,经济效益、社会效益显著。论文还对母管制负荷协调控制进行了研究,给出了一套负荷分
超级电容器是一种新型的储能器件,但活性电极材料往往为粉末状,需要额外的粘结剂涂覆到集流体上进行测试,不可避免地造成电化学性能的下降.以304型不锈钢作为基底,通过恒压阳
在建筑工程中,钢结构是其中重要的形式,这种结构不仅可以满足建筑高度需求,也可以创设出更大的应用面积,而且可以满足耐久、安全等方面的要求.我们都清楚,这是一个复杂的工程
混凝土裂缝多数发现施工阶段,其原因复杂多变,一般可分为微裂缝和宏观裂缝两大类,微观裂缝是指肉眼看不到的,混凝土内部固有的一种裂缝,荷载不超过设计规定的条件下,一般视为