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本文介绍了在国产设备上试制生产Φ>76.2mm无位错区熔硅单晶过程中多次遇到而又必须解决的常见问题之一——“毛刺”问题.着重讨论了“毛刺”产生的宏观机理,并介绍了为有效地防止“毛刺”产生所采取的各种措施.
国产炉粒制φ78—85mm无位错区熔硅单晶中“毛刺”产生的机理及消除方法
【摘 要】
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本文介绍了在国产设备上试制生产Φ>76.2mm无位错区熔硅单晶过程中多次遇到而又必须解决的常见问题之一——“毛刺”问题.着重讨论了“毛刺”产生的宏观机理,并介绍了为有效
【机 构】
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四川峨眉半导体材料厂614200
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1993年4期
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