【摘 要】
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用横断面透射电子显微镜(XTEM)技术对分子束外延GaAs-Al_xGa_(1-x)As多量子阱结构进行了观察,实验结果表明光荧光发射谱的宽化可能和阱宽的不均匀性有关.
The structure of
【机 构】
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中国科学院半导体研究所中国科学院北京电子显微镜实验室 北京
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用横断面透射电子显微镜(XTEM)技术对分子束外延GaAs-Al_xGa_(1-x)As多量子阱结构进行了观察,实验结果表明光荧光发射谱的宽化可能和阱宽的不均匀性有关.
The structure of GaAs-Al_xGa_ (1-x) As MQWs by molecular beam epitaxy was observed by cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM). The experimental results show that the broadening of the fluorescence emission spectra may be related to the well width heterogeneity .
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