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介绍了一种25VNMOS器件结构,针对NMOS管实验结果中出现的漏电问题进行了测试与仿真分析。根据分析结果提出工艺改进方案,验证并成功改进了漏电问题。
一种NMOS管体区漏电特性的研究
【摘 要】
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介绍了一种25VNMOS器件结构,针对NMOS管实验结果中出现的漏电问题进行了测试与仿真分析。根据分析结果提出工艺改进方案,验证并成功改进了漏电问题。
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2018年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61674027);四川省应用基础研究项目(18YYJC0482);广东省自然科学基金项目2016A030311022);中央高校基本科研业务费项目(ZYGX2016J210)
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