【摘 要】
：
微电子器件的发展趋势是小型化和多功能化,这就对半导体材料的加工技术提出了更高的要求。与传统的加工技术相比,近年发展起来的贵金属粒子辅助化学刻蚀半导体材料制备微结构
【机 构】
：
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室,
论文部分内容阅读
微电子器件的发展趋势是小型化和多功能化,这就对半导体材料的加工技术提出了更高的要求。与传统的加工技术相比,近年发展起来的贵金属粒子辅助化学刻蚀半导体材料制备微结构技术因操作简单、不需要精密设备、反应迅速和可批量生产等优点引起了国内外学者的广泛关注。本文以Si为主,详细介绍了Ag辅助化学刻蚀半导体材料的机理、反应现象及影响因素,总结了各种微结构的制备技术及其应用。此外,对Ge,Si1-xGex和GaAs等其他半导体材料的贵金属粒子辅助化学刻蚀技术也进行了综述。同时分析了贵金属粒子辅助化学刻蚀半导体目前存在的问题,并对未来的研究方向进行了展望。
其他文献
为了解决火箭弹增程技术的不足和局限,提出了伸缩式弹翼技术的火箭弹增程方案,对伸缩翼的结构及展开装置进行设计,并对伸缩翼展开过程中的驱动系统、运动学、动力学、结构强度和刚度方面的相关性能参数作了定性分析,从而为火箭弹增程性能的进一步完善提供了新的途径。本课题从实际出发,以飞机机翼形状为背景,利用翼型库软件导出升阻比较高的翼型,用简单可靠的压簧锁紧结构将各节翼壳装配一起,引用内弹道压力-时间的理论计算
本文从心理学视角简析了在教学实践中广泛存在的"问题学生"的类别、表现及特征,提出了运用强化手段、引导学生正确归因与培养学生自我效能感等三项干预策略.
抗精子抗体(AsAb)是免疫性不孕的重要因素之一,对不孕的影响十分复杂.随着生殖免疫研究的进展,免疫性不孕已引起人们的重视.笔者采用中西医结合治疗AsAb阳性取得满意的疗效.
国家卫生和计划生育委员会、国家食品药品监督管理总局近日联合发布《干细胞临床研究管理办法（试行）》（以下简称《管理办法》）。这是我国首个针对干细胞临床研究进行管理的规范性
随着中国-东盟自贸区全面建成运行等多重叠加机遇,南宁市产业进入转型升级的关键时期,机遇挑战并存。通过对南宁市当前科技人才政策现状进行研究,发现人才政策存在的问题,提
如今,印刷业迈向了数字化时代,现代印刷技术变革的间隔时间越来越短。由于国内经济发展不平衡,导致国内的印刷企业发展也具有很强的区域特点,技术进步和发展也极不平衡。在此
免疫学与病原生物学是医学院校学生必修的一门医学基础课程,具有理论深奥、内容抽象、各知识点之间缺乏联系等特点,使其成为医学基础课中最难学的课程之一。微课作为一种新的
作为电力系统中的重要应用技术,无功补偿技术对于保证电力网络运行的稳定性和可靠性具有重要作用。对无功补偿技术进行了概述,探讨了无功补偿在电气自动化中的具体应用,以期
内服自拟痛风汤,局部外敷中药膏治疗急性痛风性关节炎(疗程20天),痊愈11例,有效15例,无效2例,总有效率92.86%.
运用中药自拟方胆通合剂加减,治疗胆囊炎46例,胆结石12例.结果:治愈胆囊炎32例,胆结石4例;好转胆囊炎12例,胆结石5例;无效共5例.总有效率91.38%.该方具有疏肝利胆,清热利湿,