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介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题.
纳米电子器件与纳米电子技术
【摘 要】
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介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急
【机 构】
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南京航空航天大学航空宇航学院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年6期
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