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肖特基二极管正面顶层金属结构设计为Ag、Ti、Ti-W、Ni-Cr四层金属,四层金属在单层湿法刻蚀过程中必须选择刻蚀本层不刻蚀其它层金属的化学品,由于是多层金属刻蚀,会出现过刻蚀现象,导致金属翘银,对于翘银现象采取正反向湿法刻蚀方法进行解决。
肖特基二极管产品多层金属的湿法刻蚀及金属翘银问题的解决
【摘 要】
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肖特基二极管正面顶层金属结构设计为Ag、Ti、Ti-W、Ni-Cr四层金属,四层金属在单层湿法刻蚀过程中必须选择刻蚀本层不刻蚀其它层金属的化学品,由于是多层金属刻蚀,会出现过刻
【机 构】
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天光半导体有限责任公司
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
：
2016年10期
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