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微细电火花线切割加工技术已经成为加工微小复杂三维零件的重要加工方法，但是，对加工表面的摩擦磨损性能的研究很少．采用小于35μJ的微能量进行微细电火花线切割加工，结合放电机理和热力学传递过程，综合研究了微细电火花线切割加工表面在干摩擦条件下的摩擦磨损性能，并与超精磨削加工表面在同种条件下进行对比．结果表明，由于微细电火花线切割加工表面微观形貌的固有特征，使得微凸起减小了摩擦接触面积，微凹坑的容纳作用减少了摩擦表面之间的磨粒存留量，温升形成的氧化膜降低了微凸起接触界面的抗剪强度，并且摩擦过程由二体摩擦转变为三