【摘 要】
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<正> 以砷化镓为代表的三、五族化合物半导体集成电路因其优越的高频、高速性能而长期被用于军事电子装备,作为其高频前端的核心器件。九十年代中期,随着移动通信产业的兴起,
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<正> 以砷化镓为代表的三、五族化合物半导体集成电路因其优越的高频、高速性能而长期被用于军事电子装备,作为其高频前端的核心器件。九十年代中期,随着移动通信产业的兴起,砷化镓集成电路开始进入大规模民用领域,并逐步走上了规模生产的产业化道路。目前已经和化合物半导体光电器件(如发光二极管、激光器、光电探测器以及太阳能电池等)、化合物半导体分立器件(如功率管等)共同组成了一个相当
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