类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：loveqin11

【摘要】

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类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜(DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法.本文介绍了气

【作者】

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李振军徐洮李红轩郝俊英周惠娣陈建敏

【机构】

：

中国科学院兰州化学物理研究所

【出处】

：

材料科学与工程学报

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

类金刚石薄膜摩擦学特性磨损机制化学气相沉积 diamond-like carbon (DLC) film tribological properties

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类金刚石薄膜已显示了重要的摩擦学应用价值,其中化学气相沉积的类金刚石薄膜(DLC)具有膜层致密、厚度均匀、摩擦学性能优良等特点成为广泛采用的一种沉积方法.本文介绍了气源成分、基体材料、摩擦环境、摩擦对偶、载荷及速度对化学气相沉积制备类金刚石薄膜的摩擦学特性的影响,概述了其摩擦磨损机理,同时探讨了进一步研究工作的方向.

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