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采用活化Mo-Mn法对α-Al2O3单晶进行了金属化,Mo-Mn层表面容易出现玻璃相,影响Mo-Mn层电镀及焊接效果。通过对α-Al2O3单晶金属化后Mo-Mn层玻璃相的成分分析,找出Mo-Mn层与α-Al2O3单晶的粘接机理,从玻璃相中析出刚玉是关键。
α-Al2O3单晶活化Mo-Mn法金属化的改进
【摘 要】
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采用活化Mo-Mn法对α-Al2O3单晶进行了金属化,Mo-Mn层表面容易出现玻璃相,影响Mo-Mn层电镀及焊接效果。通过对α-Al2O3单晶金属化后Mo-Mn层玻璃相的成分分析,找出Mo-Mn层与α
【机 构】
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北京真空电子技术研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2019年3期
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