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作为制备和生产功能薄膜的方法之一,溅射法广泛应用于许多领域.它是目前制备金属薄膜最常用的工艺.作为高技术用的靶材是一种全新的概念.随着高技术用新材料突飞猛进的发展,世界靶材的市场销售规模日益扩大.本文重点介绍了靶材的发展概况、应用分类、制备工艺、技术要求以及中国靶材产业的发展前景等.
发展中的溅射靶材
【摘 要】
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作为制备和生产功能薄膜的方法之一,溅射法广泛应用于许多领域.它是目前制备金属薄膜最常用的工艺.作为高技术用的靶材是一种全新的概念.随着高技术用新材料突飞猛进的发展,
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2001年4期
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