RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧(a-SiO_x∶H)薄膜及其光电特性研究

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiangchao1989

【摘要】

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【作者】

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刘小娇施光辉殷俊传刘虹霞涂晔胡志华

【出处】

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太阳能学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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氢化非晶硅氧硼掺杂激活能傅里叶红外谱

【基金项目】

：

国家科技部国际科技合作专项项目(S2012ZR0054)

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