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晶片氧化工艺高温炉动态温度巡踪仪设计
晶片氧化工艺高温炉动态温度巡踪仪设计
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wo861030
【摘 要】
:
传统温差热电偶温度测控,存在着高温炉内温度均匀度差和动态温度一致性差,达不到高精度温度测控要求的问题,运用DS18820单线数字温度传感器与AT89C2051单片机设计的高温炉动态温
【作 者】
:
朱品昌
李传江
倪继锋
【机 构】
:
上海师范大学机械与电子工程学院
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2007年11期
【关键词】
:
DS18820单线数字温度传感器
热风
循环高温炉
动态温度检测
温差热电偶
uniline digital temperature sensor (DS18B
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传统温差热电偶温度测控,存在着高温炉内温度均匀度差和动态温度一致性差,达不到高精度温度测控要求的问题,运用DS18820单线数字温度传感器与AT89C2051单片机设计的高温炉动态温度巡踪仪,能实时精确监控高温炉内单点或多点的温度值,给出了功能电路及程序流程,并作了实测结果分析。
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