晶片氧化工艺高温炉动态温度巡踪仪设计

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传统温差热电偶温度测控,存在着高温炉内温度均匀度差和动态温度一致性差,达不到高精度温度测控要求的问题,运用DS18820单线数字温度传感器与AT89C2051单片机设计的高温炉动态温度巡踪仪,能实时精确监控高温炉内单点或多点的温度值,给出了功能电路及程序流程,并作了实测结果分析。
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