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SiH4历来用作制造半导体用多晶硅、外延膜生长、硅器件钝化膜和聚硅膜等的原料气。目前，以发现非晶硅(a-Si：H)为契机，有关SiH4的应用研究就活跃起来了。而且，非晶硅的一部分已作为非晶形太阳电池和静电复印机用的感光磁鼓出售，体现了对SiH4的一部分需要。
SiH4的制造方法
【摘 要】
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SiH4历来用作制造半导体用多晶硅、外延膜生长、硅器件钝化膜和聚硅膜等的原料气。目前，以发现非晶硅(a-Si：H)为契机，有关SiH4的应用研究就活跃起来了。而且，非晶硅的一部分已作
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年4期
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