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晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数,例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法,均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介绍了石英晶片的腐蚀工序作用、主要参数和腐蚀工艺的步骤对晶体谐振器参数的影响。
腐蚀工艺在石英晶体谐振器生产过程中的应用
【摘 要】
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晶片腐蚀是石英晶体谐振器生产过程中不可缺少的工序。采用不同的腐蚀工艺参数,例如腐蚀量大小、腐蚀液的温度、不同的腐蚀方法,均会对晶体谐振器参数产生不同的影响。简要介
【机 构】
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中电54所远东公司
【出 处】
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科技与创新
【发表日期】
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2015年8期
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