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分析了声表面波力传感器加载器加载后，频率稳定性变差的原因，设计了一种新型的采用等强度梁的力传感器。并通过采用特殊的器件封装方法达到了既保护了表面电极又不影响传感器灵敏度的目的。给出了该传感器的频漂实验和力－频特性实验结果。
基于等强度梁的声表面波力传感器研究
【摘 要】
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分析了声表面波力传感器加载器加载后，频率稳定性变差的原因，设计了一种新型的采用等强度梁的力传感器。并通过采用特殊的器件封装方法达到了既保护了表面电极又不影响传感器灵
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,100084
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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自然科学基金
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