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针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜，设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求，设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离，实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果，2片补偿镜之间倾斜误差4．4”，平移误差3．5μm，镜间隔误差3．8μm；补偿镜组与场镜之间倾斜误差5．3”，平移误差4．2μm，镜间隔误差7．2μm，满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测，面形结果PVq值达到0．135X，