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介绍了工件台位置显示系统的组成，工作原理及软件设计。由于采用单片机控制技术，从而保证了系统的显示精度和运行可靠性。
亚微米电子束曝光机激光工件台位置显示系统
【摘 要】
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介绍了工件台位置显示系统的组成，工作原理及软件设计。由于采用单片机控制技术，从而保证了系统的显示精度和运行可靠性。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年4期
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