【摘 要】
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<正> 近年来随着科学技术的迅速发展,高纯惰性气体的应用日益广泛。然而,对许多应用领域来说,单纯依靠低温多级精馏并不能得到足够的纯度。尤其是在电子工业、溅射、灯泡和气
【机 构】
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冶金工业部有色金属研究总院氩气精制组;
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<正> 近年来随着科学技术的迅速发展,高纯惰性气体的应用日益广泛。然而,对许多应用领域来说,单纯依靠低温多级精馏并不能得到足够的纯度。尤其是在电子工业、溅射、灯泡和气相分析等方面,要求使用的氩气纯度很高,而由于气体在装瓶、贮存和运输中引起的污染,使市售的氩、氦在使用前的进一步纯化技术显得格外重要。能否采用简易纯化工艺和生产高效循环净化装置,对保证产品质量、降低成本具有很大的技术经济价
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