ZnO：Al透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究

来源 :福建师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：RK0707

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备Al件掺杂ZnO薄膜，研究了Al3＋掺杂对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响．XRD测量结果表明，Zn1-xAlxO薄膜具有六角纤锌矿结构，晶格常数随着Al掺杂浓度的

【作者】

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林应斌吴丽平林銮黄树铃李钻钻杨艳敏黄志高

【机构】

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福建师范大学物理与光电信息科技学院

【出处】

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福建师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2009年3期

【关键词】

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溶胶-凝胶 ZnO 透射光谱光致发光 sol-gel ZnO transmittance photoluminecent spectra

【基金项目】

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基金项目：国家自然科学基金资助项目（60876069）,福建省青年人才基金项目（2008F3039）,福建省高分子材料重点实验室开放课题（200801）,福建师范大学本科生课外科技计划立项资助项目（BKL2008～009）

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利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备Al件掺杂ZnO薄膜，研究了Al3＋掺杂对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响．XRD测量结果表明，Zn1-xAlxO薄膜具有六角纤锌矿结构，晶格常数随着Al掺杂浓度的增加而减小；紫外-可见透射光谱（UV）表明，所有薄膜在可见光区的透过率均超过80％；光致发光谱研究发现，随着Al掺杂浓度的增加ZnO的吸收带边发生蓝移，XRD和光学性能研究都证实了ZnO薄膜中的Al件是以替位式形式存在于晶格中．

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