论文部分内容阅读
本文提出以纯钽舟为电阻加热器真空蒸发高纯度Al、Cr、Si、Ti、Al-Si、TiSi等薄膜的方法,测定了这些薄膜的性质.证明钽舟蒸发薄膜具有投资省、操作简单、控制方便、产品沾污少、纯度高等优点,适合于大规模集成电路的研制.
钽舟真空蒸发制备高纯金属,合金和硅化物薄膜及其在大规模...
【摘 要】
：
本文提出以纯钽舟为电阻加热器真空蒸发高纯度Al、Cr、Si、Ti、Al-Si、TiSi等薄膜的方法,测定了这些薄膜的性质.证明钽舟蒸发薄膜具有投资省、操作简单、控制方便、产品沾污
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
：
应用科学学报
【发表日期】
：
1989年1期
其他文献
通过设置几种不同类型的牡丹无土栽培试验，选出了适宜牡丹无土栽培的基质，营养液配比，结果表明：供试栽培基质以河沙，蛭石，岩棉，珍珠岩，陶土粒的混合基质较好；基质的通气孔隙与毛管孔隙
《在文艺工作座谈会上的讲话》是对《在延安文艺工作座谈会上的讲话》的继承与鼎新.革命文艺理论具有历史合理性.周扬是毛泽东文艺思想的杰出高扬者.在工农兵文艺、文艺服务
对于学校体育领域来说，紧紧围绕着”增强学生体质”这一中心任务，找到能够有目的、有针对性、事半功倍地发展学生体质的途径是尤为重要的。运动处方教学思想恰恰适应了这一要求
:探讨了银杏 1～ 3年生种子育苗密度与产量、产值的问题 ,提出了培育优质壮苗的合理密度。即 1～ 3年生苗分别采用每公顷 6 2 5 0 0 0株、3132 0 0株和 15 6 0 0 0株的产量、产值
加入WT0对政府的影响最大,在农业发展环境发生变化的情况下,政府对农业政策目标必须进行调整,制度创新应有新的突破.
研究了(Bi,Y,Lu)_3(Fe,Ga)_5O_(12)膜的液相外延生长工艺,测量了λ=0.40～0.80μm的室温饱和比法拉弟旋转谱和吸收谱,证实了强磁光活性跃迁的存在并讨论了跃迁的微观缘由.
<正>一、引言 根据磁记录理论,记录密度D和输出幅度E(?)与磁涂层厚度t_m之间的关系由如下等式确定 由上面的等式可知,减薄t_m是提高记录密度的重要途径;而当记录时被磁化了
采用扫描电镜、X射线衍射、红外光谱及热分析对溶解乙炔气瓶多孔填料在蒸压条件下生成的硅酸钙水合晶体进行了有关结构特征的研究,并结合实验结果讨论了硅酸钙水含晶体的形成