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本文根据1991年前的资料综合评述了世界半导体硅材料的发展情况。首先从电子工业的最新发展对硅材料的新要求出发,介绍了硅材料的市场和大直径化、MCZ技术、连续投料拉晶、粒状多晶等工艺问题,并展望了发展趋势。
半导体硅材料的发展概况
【摘 要】
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本文根据1991年前的资料综合评述了世界半导体硅材料的发展情况。首先从电子工业的最新发展对硅材料的新要求出发,介绍了硅材料的市场和大直径化、MCZ技术、连续投料拉晶、粒
【机 构】
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上海有色金属研究所上海201600
【出 处】
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上海金属：有色分册
【发表日期】
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1993年2期
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